兩名直接知情人士透露，芯片制造商英特爾今年曾測(cè)試過一家深耕中國市場(chǎng)、且有兩家海外子公司遭美國制裁的工具廠商所生產(chǎn)的芯片制造工具。
今年 8 月，英特爾首席執(zhí)行官曾因被指與中國存在關(guān)聯(lián)而面臨特朗普總統(tǒng)要求其辭職的壓力，而此次英特爾所用的工具來自美國加利福尼亞州弗里蒙特市的芯片制造設(shè)備生產(chǎn)商盛美半導(dǎo)體（ACM Research）。盛美半導(dǎo)體位于上海和韓國的兩家子公司，去年因被指協(xié)助中國政府將商用技術(shù)用于軍事用途、并參與先進(jìn)芯片或芯片制造工具的研發(fā)，被列入美國技術(shù)出口限止步清單，無法獲取美國技術(shù)。對(duì)此，盛美半導(dǎo)體予以否認(rèn)。
此次測(cè)試的是兩臺(tái)濕法刻蝕工具，這類工具用于去除硅晶圓上的材料，進(jìn)而將硅晶圓加工為半導(dǎo)體芯片。它們被用于英特爾最先進(jìn)的 14A 芯片制造工藝的可行性測(cè)試，該工藝計(jì)劃于 2027 年初步投產(chǎn)。
目前美國部分對(duì)華強(qiáng)硬派人士指出，英特爾作為一家有美國政府參股的企業(yè)，卻考慮將受制裁企業(yè)的工具納入其最先進(jìn)的生產(chǎn)線，這引發(fā)了重大國家安全擔(dān)憂。他們擔(dān)心英特爾的敏感技術(shù)知識(shí)可能流向中國、西方可靠工具供應(yīng)商會(huì)被涉華企業(yè)取代，甚至存在被中方蓄意破壞的潛在風(fēng)險(xiǎn)。
據(jù) TechInsights 公司副主席丹?哈奇森介紹，盛美半導(dǎo)體等中國廠商的工具，相比應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)等競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品，價(jià)格要低 20% 至 30%，這會(huì)對(duì)老牌廠商形成降價(jià)壓力，對(duì)英特爾而言意味著更低的設(shè)備采購成本。
目前暫無明確公開信息說明具體動(dòng)因，不過從行業(yè)邏輯來看，一方面是中國工具廠商具備價(jià)格優(yōu)勢(shì)，另一方面英特爾或希望通過測(cè)試多元化的設(shè)備供應(yīng)商，保障其先進(jìn)制程（14A）的生產(chǎn)供應(yīng)穩(wěn)定性，同時(shí)也可能是為了評(píng)估非傳統(tǒng)供應(yīng)商設(shè)備的技術(shù)性能是否能滿足其高端制造需求。
盛美半導(dǎo)體 1998 年由王暉創(chuàng)立，其本人目前仍擔(dān)任首席執(zhí)行官且持有超 57% 的投票權(quán)，同時(shí)擁有美國國籍和中國永久居留權(quán)。公司雖總部位于美國加州，但 2006 年就在上海設(shè)立研發(fā)中心，目前在上海張江高科技園區(qū)已具備完整的研發(fā)、工程和制造能力，其大部分研發(fā)工作也在中國開展。
路透社無法確認(rèn)英特爾是否已決定將這些工具用于先進(jìn)芯片制造流程，也無證據(jù)表明該公司違反了美國相關(guān)法規(guī)。盛美半導(dǎo)體表示，無法就 “具體客戶合作事宜” 置評(píng)，但可證實(shí) “美國團(tuán)隊(duì)已將其亞洲業(yè)務(wù)的多臺(tái)設(shè)備銷售并交付給美國本土客戶”，同時(shí)還披露曾向一家 “美國大型半導(dǎo)體制造商” 交付三臺(tái)工具，這些工具正處于測(cè)試階段，部分已達(dá)到性能標(biāo)準(zhǔn)。
美國前總統(tǒng)拜登時(shí)期的白宮國家安全委員會(huì)官員、美國外交關(guān)系協(xié)會(huì)高級(jí)研究員克里斯?麥圭爾在回應(yīng)路透社的調(diào)查結(jié)果時(shí)稱，英特爾測(cè)試盛美半導(dǎo)體工具的行為 “凸顯了美國技術(shù)保護(hù)政策存在嚴(yán)重漏洞，絕不應(yīng)該被允許”。他還補(bǔ)充道：“中國產(chǎn)工具極易被中方遠(yuǎn)程或物理操控，從而削弱甚至中斷美國芯片生產(chǎn)。美國企業(yè)絕不應(yīng)參與助力中國提升芯片制造工具水平的進(jìn)程，因?yàn)檫@類工具是所有先進(jìn)技術(shù)發(fā)展的基石?！?/p>
盛美半導(dǎo)體則表示自身不構(gòu)成國家安全威脅，稱其美國業(yè)務(wù)與受制裁的上海子公司 “相互獨(dú)立、完全隔離”，美國客戶由美國本土人員直接提供支持，且有完善的保障措施保護(hù)客戶商業(yè)機(jī)密。
中國駐美國大使館未針對(duì)性回應(yīng)對(duì)華強(qiáng)硬派的擔(dān)憂，但表示 “企業(yè)間正常的經(jīng)貿(mào)合作不應(yīng)被政治化。我們敦促美方一些人士摒棄意識(shí)形態(tài)偏見，停止泛化國家安全概念”。
俄勒岡 “硅林” 的重要樞紐
2023 年 11 月，盛美半導(dǎo)體宣布在俄勒岡州希爾斯伯勒市開設(shè)新設(shè)施，該地區(qū)被譽(yù)為該州的 “硅林”，新設(shè)施 “戰(zhàn)略選址于主要客戶和合作伙伴附近”，將作為公司新的銷售和服務(wù)中心。
該設(shè)施距離英特爾核心研發(fā)及早期量產(chǎn)工廠僅約 1 英里，且該州內(nèi)并無其他尖端芯片工廠。
美國對(duì)沖基金 Kerrisdale Capital2025 年 1 月的一份報(bào)告稱，該設(shè)施旨在鞏固盛美半導(dǎo)體與英特爾的合作關(guān)系，指出盛美半導(dǎo)體 2023 年底已在該設(shè)施完成一款新工具的認(rèn)證，并于 2024 年年中交付了更多設(shè)備。
Kerrisdale Capital 上月發(fā)布的后續(xù)報(bào)告稱，盛美半導(dǎo)體 “已通過與英特爾等全球龍頭企業(yè)的戰(zhàn)略合作，為海外擴(kuò)張奠定基礎(chǔ)，相關(guān)成果有望在 2026 年顯現(xiàn)”。該機(jī)構(gòu)還補(bǔ)充，盛美半導(dǎo)體正在英特爾開展 “多個(gè)清洗工藝環(huán)節(jié)的工具評(píng)估工作”，同時(shí) “正升級(jí)當(dāng)?shù)氐目蛻粞菔緦?shí)驗(yàn)室和本土研發(fā)能力，以便英特爾能在本地使用盛美半導(dǎo)體的工具進(jìn)行晶圓測(cè)試”。
英特爾未就該報(bào)告置評(píng)，盛美半導(dǎo)體則表示，其并非任何美國大型芯片制造商的主要設(shè)備供應(yīng)商。
中國廠商角逐全球市場(chǎng)份額
據(jù)高德納咨詢（Gartner Research）數(shù)據(jù)，盛美半導(dǎo)體在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)仍屬小體量玩家，位列第 24 名，在清洗工具細(xì)分領(lǐng)域的市場(chǎng)份額為 8%。
但美國國會(huì)中國問題特別委員會(huì) 10 月的一份報(bào)告指出，早在美國開始限止步中國獲取美國工具之前，中方至少自 2015 年起就已在著力打造具有競(jìng)爭(zhēng)力的本土半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)，中國工具廠商的全球市場(chǎng)份額也已實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。
該委員會(huì)還稱，“甚至已關(guān)切地審閱過相關(guān)報(bào)告，稱盛美半導(dǎo)體曾向一家在美國有業(yè)務(wù)的半導(dǎo)體制造商出售半導(dǎo)體制造設(shè)備，且該美國企業(yè)還正式認(rèn)證了盛美半導(dǎo)體的工具可用于其生產(chǎn)線”，不過報(bào)告未披露更多細(xì)節(jié)。