界面新聞記者 | 郭凈凈

　　12月24日起，中信建投對中微公司（688012.SH）開展做市交易業(yè)務，將進一步改善這家1700億市值半導體設備股票的流動性。

　　當前中微公司更為市場關(guān)注的，是其平臺化布局的新動作——將購買CMP（化學機械拋光設備）設備公司杭州眾硅電子科技有限公司（簡稱“杭州眾硅”）控股權(quán)。

　　“2000年左右，中微公司創(chuàng)始人尹志堯與杭州眾硅創(chuàng)始人顧海洋都曾在美國應用材料公司工作。這段共同經(jīng)歷，為雙方多年后的強強聯(lián)合埋下了伏筆?！蓖顿Y機構(gòu)人士對界面新聞介紹。

　　仍在并購談判期的中微公司、杭州眾硅處于緘默期。中微公司人士對界面新聞稱，“相關(guān)事宜仍在談判過程中，目前公司各業(yè)務線增長情況都很正常。”杭州眾硅方面回復界面新聞說，近期公司不方便對外發(fā)聲，不接受媒體采訪。

　　杭州眾硅成色幾何？

　　中微公司12月18日宣布，籌劃發(fā)行股份購買杭州眾硅控股權(quán)并募集配套資金。

　　成立于2018年5月的杭州眾硅是高端CMP設備產(chǎn)商，主要產(chǎn)品為12英寸CMP設備。

　　官網(wǎng)顯示，杭州眾硅由技術(shù)專家顧海洋設立，8英寸CMP設備導入多家晶圓廠產(chǎn)線，于2021年6月自研首臺6英寸CMP設備（第三代半導體），于2022年8月自研國內(nèi)首臺12英寸CMP設備（大硅片襯底拋光），2024年推出6英寸設備TENMS? ECMP150S電化學拋光設備。

　　界面新聞獲悉，該公司的12英寸CMP設備采用6拋光盤、2列左右平行布局的架構(gòu)設計，突破目前市場主流設備4盤或3盤的架構(gòu)模式，可同時支持3盤工藝或2盤工藝，滿足先進制程中的各種工藝需求。2023年7月，該12英寸CMP設備交付國內(nèi)知名廠商并投入產(chǎn)線應用。

　　據(jù)杭州眾硅總部所在的青山湖科技城官微文章，到2023年12月，杭州眾硅專利總量237件，商標總量104件；其中有效專利118件、有效商標78件。海外知識產(chǎn)權(quán)布局方面，專利總量120件，商標總量46件；其中有效專利41件、有效商標37件。

　　結(jié)合天眼查等工商信息服務商數(shù)據(jù)，2019年以來，杭州眾硅先后中標青島澳柯瑪旗下芯恩（青島）集成電路、上海新微半導體、云南創(chuàng)視界光電科技、京東方集團旗下云南創(chuàng)視界光電科技、中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的招標項目，且主要在2024年之后。

　　眾硅科技成立至今經(jīng)歷10輪融資，投資方包括臨安創(chuàng)投、毅達資本、中微公司、炬華科技、容億投資、達晨創(chuàng)投、朗瑪峰創(chuàng)投等國資、上市公司及機構(gòu)。界面新聞從知情人士獲悉，公司成立以來總?cè)谫Y規(guī)模6億元左右，近期估值超20億元。

　　圖片來源：企查查

　　2024年12月、2025年9月，中微公司旗下中微半導體（上海）有限公司增資杭州眾硅，成持股12.04%的第二大股東。

　　另據(jù)天眼查，中微公司擬收購交易方杭州眾芯硅工貿(mào)、上海寧容海川電子科技、杭州臨安眾芯硅、杭州臨安眾硅、杭州芯匠、杭州眾誠芯、朱琳，分別持股20.3774%、5.8813%、3.2003%、2.4996%、1.8249%、0.8649%、0.2595%，合計34.9079%。若中微公司收購交易方全部股份，其對杭州眾硅的持股比例將增至46.95%。

　　“這種路徑比較常見，并購風險小一些?！蹦成鲜泄径貙缑嫘侣劮Q。

　　界面新聞從多位業(yè)內(nèi)人士處獲悉，2024年年初，中微公司與杭州眾硅已就入股事宜展開交流，但期間杭州眾硅部分員工被同行挖走了，或有所影響。

　　“2000年左右，中微公司創(chuàng)始人尹志堯與杭州眾硅創(chuàng)始人顧海洋都曾在美國應用材料公司工作。這段共同經(jīng)歷，為雙方多年后的強強聯(lián)合埋下了伏筆?！痹趹貌牧蠌氖掳雽w設備研發(fā)工作的投資人士對界面新聞指出，成功的并購既需要業(yè)務上的協(xié)同互補，更離不開創(chuàng)始人之間的理念契合與信任基礎。

　　杭州眾硅曾遭同行起訴。界面新聞注意到，2020年8月至2023年9月，杭州眾硅曾與同行晶亦精微展開持續(xù)三年的侵害技術(shù)秘密糾紛。

　　據(jù)悉，晶亦精微成立于2019年9月，前身是中國電子科技集團公司第四十五研究所（簡稱“四十五所”）為實現(xiàn)科技成果轉(zhuǎn)化設立的公司。2017年，四十五所CMP事業(yè)部研制出國內(nèi)首臺8英寸CMP設備，到2022年在中國大陸8英寸CMP設備市占率約68.3%。

　　顧海洋、古楓均曾在四十五所工作，分別擔任CMP事業(yè)部總經(jīng)理、質(zhì)量管理經(jīng)理。2018年1月、4月，二人離職后進入杭州眾硅工作。

　　2020年8月，晶亦精微認為顧海洋、古楓利用公司相關(guān)技術(shù)秘密在杭州眾硅進行生產(chǎn)經(jīng)營，就其侵犯CMP相關(guān)技術(shù)秘密提起訴訟。直到2023年9月，經(jīng)法院調(diào)解，雙方和解，晶亦精微與杭州眾硅之間的知識產(chǎn)權(quán)糾紛結(jié)案。

　　CMP設備行業(yè)要變天？華海清科急曬成績

　　杭州眾硅所生產(chǎn)的CMP設備是典型的“濕法工藝”（借助化學液和機械力），廣泛應用于邏輯芯片、存儲芯片等先進制程的生產(chǎn)線。

　　據(jù)愛建證券最新研報，CMP設備價值量約占半導體設備投資額的4%。頭豹研究院認為，隨著芯片制程向3nm以下挺進，CMP工藝在半導體設備投資中占比將升至12%。

　　當前全球CMP行業(yè)被美國應用材料、日本荏原主導，兩者市占率85%以上。前述投資人士對界面新聞指出，現(xiàn)在CMP設備的國產(chǎn)化率約20%左右，未來可能也就不到50%的市場空間留給一些新廠商；“可能更多是現(xiàn)在已站穩(wěn)腳跟的CMP設備廠商去擴產(chǎn)”。

　　半導體專家關(guān)牮長期統(tǒng)計全球半導體設備名單。據(jù)其統(tǒng)計，目前中國大陸前道設備（含部分先進封裝）供應商的數(shù)字已達202家，幾乎占全球（423家）一半。

　　CMP設備公司有華海清科（688120.SH）、杭州眾硅、吉姆西半導體、科微研磨、先導智能旗下元夫半導體、中國電科旗下晶亦精微、天通吉成、特思迪、泰匯創(chuàng)等。

　　中微公司收購杭州眾硅，給國內(nèi)CMP設備龍頭華海清科帶來不小沖擊。

　　中微公司公布收購消息第二天，12月19日，華海清科公告稱，其CMP裝備累計出機超800臺，全面覆蓋邏輯、3DNAND存儲、DRAM存儲等主流產(chǎn)品線，切入大硅片、第三代半導體、CIS、MEMS、MicroLED以及先進封裝等領(lǐng)域頭部客戶供應鏈，實現(xiàn)國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線的全覆蓋和批量化應用。

　　“公司持續(xù)關(guān)注相關(guān)事宜，目前沒有看到業(yè)務有受到影響。”華海清科人士對界面新聞表示，公司做12英寸CMP設備時間比較長，目前國內(nèi)沒有對手，競爭對手還是以國外公司為主。“公司在國內(nèi)的市場占有率已經(jīng)很高，在2022年基本占據(jù)大陸市場，有一定先發(fā)優(yōu)勢，杭州眾硅再進入，有一定門檻和難度?！?/p>

　　在前述投資人士看來，中微公司與華海清科等作為國內(nèi)半導體設備領(lǐng)域的先行者，率先享受到了國產(chǎn)化導入的紅利?！昂贾荼姽柙诙嗫町a(chǎn)品上實現(xiàn)技術(shù)突破，部分甚至達到全球首創(chuàng)水平。中微公司與杭州眾硅的結(jié)合，正是‘市場先機’與‘技術(shù)壁壘’的完美互補?！痹撊耸繉缑嫘侣務f。

　　半導體設備行業(yè)的一個顯著特點是驗證周期長、資金壓力大。“一款新產(chǎn)品從前期驗證到小批量訂單，再到大批量交付，往往需要一到兩年時間。這對初創(chuàng)公司而言是巨大的資金考驗。”上述投資人士進一步對界面新聞指出，“杭州眾硅被中微公司并購后，能夠在客戶資源、資金支持、供應鏈協(xié)同等方面獲得全方位賦能，從而加速商業(yè)化進程?！?/p>

　　尤其是客戶資源方面。據(jù)中郵證券研報，2025年上半年，中微公司ICP刻蝕設備已在超50家客戶產(chǎn)線實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。

　　在下游客戶看來，小設備公司并入大公司也利于其下游芯片公司的生產(chǎn)穩(wěn)定性?！叭绻荒軐崿F(xiàn)盈利，很多供應鏈都不敢與你合作。小公司抗風險能力差，客戶希望供應商能夠并入大平臺，保持其穩(wěn)定性?！蹦承酒O計公司創(chuàng)始人對界面新聞稱，同行并購更看重戰(zhàn)略協(xié)同性，更能看到虧損公司的價值所在。

　　界面新聞注意到，下游客戶對設備供應商的體量也有要求。根據(jù)中國國際招標網(wǎng)，2025年8月發(fā)布的“燕東科技基于12英寸銅工藝項目定制化要求銅化學機械研磨CMP設備采購項目”，要求投標人近3年12英寸設備實際銷售不少于20臺，且不承認試用或Demo等形式的合同或訂單；2024年12月發(fā)布的“株洲中車時代半導體有限公司CMP設備采購項目”，要求投標人近三年同類型設備業(yè)績不低于30臺。

　　轉(zhuǎn)向平臺型公司

　　“通過并購杭州眾硅，中微公司新增CMP設備業(yè)務，擴大其產(chǎn)品線，對其業(yè)績有很大幫助。”某半導體專家對界面新聞稱。

　　中微公司表示，本次交易標志著其向“集團化”和“平臺化”邁出關(guān)鍵一步。公司董事長、總經(jīng)理尹志堯10月30日稱，中微公司在不斷擴大自身的產(chǎn)品覆蓋，目前公司三十多種設備已覆蓋半導體高端設備的25%到30%，今后五到十年，計劃通過有機生長和外延擴展，逐步覆蓋半導體高端設備的50%到60%，成為一個設備的大型平臺化公司。

　　中微公司成立于2004年5月，產(chǎn)品基本完整覆蓋刻蝕、薄膜沉積領(lǐng)域。公司刻蝕產(chǎn)品覆蓋CCP與ICP兩大體系，已滿足65nm至5nm及更先進節(jié)點需求；并布局薄膜沉積與外延裝備，拓展光學與電子束量測及多類泛半導體微加工設備。

　　截至2025年6月底，該公司的CCP、ICP刻蝕設備累計裝機量超4500、1200個反應臺，薄膜沉積LPCVD設備累計出貨破150個反應臺。

　　自2019年登陸科創(chuàng)板上市以來，中微公司并購擴張動作加快：

• 2019年8月至2023年5月，合計2.8億元取得檢測設備供應商睿勵科學儀器27.46%股權(quán)，為其第一大股東。2024年，其發(fā)起設立控股子公司電子束量檢測設備公司超微半導體。
• 2020年10月，增資MOCVD產(chǎn)品檢測設備供應商昂坤視覺，于2020年、2021年近2億元入股PECVD薄膜設備商理想萬里暉。

　　2025年以來，中微公司投資提速：1月投資30.5億元建設研發(fā)薄膜設備研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項目，2月增資由前董秘劉曉宇負責的上海智微私募基金。

　　中微公司的長期股權(quán)投資從2020年的4.24億增至2025年前三季度的14.33億元。據(jù)界面新聞不完全統(tǒng)計，公司先后投資中芯國際、拓荊科技等10多家上市半導體公司。

　　2020年至2024年，中微公司收入從22.73億升至90.65億元。2024年起，公司第二大業(yè)務薄膜沉積設備開始批量交付。最新財報顯示，2025年前三季度，公司營收同比增46.4%至80.63億元，歸母凈利潤同比增32.66%至12.11億元；報告期內(nèi)，其刻蝕設備收入同比增38.26%至61.01億，占比75.67%；薄膜設備收入同比漲1332.69%至4.03億元，占比約5%。

　　“最后剩下來的半導體公司肯定是平臺型公司?！鼻笆霭雽w設備公司人士對界面新聞表示，中微公司確實應該走這條路。

　　在業(yè)內(nèi)看來，向平臺型企業(yè)發(fā)展成為進入全球半導體設備公司第一梯隊的關(guān)鍵路徑。中郵證券指出，平臺型領(lǐng)軍廠商持續(xù)受益于下游擴產(chǎn)與國產(chǎn)替代進程。

　　當前全球前五大半導體設備廠商均專注于前道設備應用，除了ASML、科磊（KLA）外，應用材料、東京電子、泛林半導體均為平臺型企業(yè)。

　　國內(nèi)來看，北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、先導基電等上市公司確定平臺型布局，拓荊科技、華海清科、長川科技（維權(quán)）、精測電子、中科飛測等細分龍頭也有所布局。

　　圖片來源：全球半導體觀察

　　前述投資人士認為，回顧全球半導體設備行業(yè)發(fā)展史，并購整合是龍頭企業(yè)做大做強的必經(jīng)之路?！懊绹?jīng)歷數(shù)百家設備公司共存的行業(yè)發(fā)展階段，最終是幾家千億美金市值龍頭通吃?？评?、應用材料通過數(shù)十次并購不斷完善產(chǎn)品線、擴大市場份額?！?/p>

　　“國內(nèi)半導體設備行業(yè)正處于整合的關(guān)鍵窗口期。”該人士進一步對界面新聞分析道，北方華創(chuàng)并購芯源微、華海清科收購芯崳，這些案例都印證了這一趨勢?！罢咧С帧⒊鮿?chuàng)企業(yè)涌現(xiàn)、AI驅(qū)動的工藝進步，都在為行業(yè)整合提供持續(xù)動力。中國半導體設備企業(yè)要實現(xiàn)‘從跟跑到并跑甚至領(lǐng)跑’，并購整合是一條值得探索的路徑，但關(guān)鍵在于找到真正具備協(xié)同價值的標的，并建立高效的整合機制?！?/p>

　　“在優(yōu)勢設備領(lǐng)域有比較好的成就后，肯定考慮去做協(xié)同發(fā)展的新業(yè)務，近年公司也在進行平臺化布局?！比A海清科人士對界面新聞介紹，目前公司已建立覆蓋CMP設備、離子注入、減薄、劃切、濕法、晶圓再生等多元化產(chǎn)品矩陣?！?/p>

　　但這條路走起來并不容易。前述半導體設備公司人士對界面新聞指出，北方華創(chuàng)是自2016年同一實控人下的兩家公司合并而成，有一定先天優(yōu)勢；“但如果從一個單品類公司逐步添加新品類，經(jīng)過很多輪并購整合，逐步形成平臺型規(guī)模，難度挺大，要付出足夠的時間、人力和資金成本?！?/p>

　　近3500億元市值排名第一的北方華創(chuàng)走在前面，是國內(nèi)唯一成型的平臺型設備企業(yè)。2016年，北方華創(chuàng)由七星電子與北方微電子重組而成，后于2018年收購美國Akrion強化清洗環(huán)節(jié)，在2023年收購北京丹普拓展鍍膜譜系，于2025年戰(zhàn)略控股芯源微切入中高端涂膠顯影賽道。今年3月，北方華創(chuàng)在SEMICON China 2025展會上發(fā)布首款離子注入機產(chǎn)品，至此基本覆蓋除光刻之外的所有半導體前道制造設備。

　　2024年、2025年前三季度，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收298.38億、273.01億元，同比增長35.14%、32.97%；歸母凈利潤56.21億、51.3億元，同比增長44.17%、14.83%。

　　從市值、業(yè)務布局、業(yè)績規(guī)模等各方面，曾被業(yè)界認為“北華創(chuàng)、南中微”雙龍頭之一的中微公司慢了好幾拍。

　　“從規(guī)模上講，北方華創(chuàng)是中國大陸半導體設備廠商的絕對龍頭；中微公司技術(shù)水平很好，最大缺點就是業(yè)務面還不夠廣，產(chǎn)品線較北方華創(chuàng)相對單一，導致總營收較小?！鄙鲜霭雽w專家指出，現(xiàn)在兩家公司都在通過并購拼命擴張業(yè)務線?！皩λ麄儍杉襾碚f，靠現(xiàn)有業(yè)務維持高增長，已經(jīng)很難了。北方華創(chuàng)2030年業(yè)績目標要做到一千億，必須通過并購快速擴大業(yè)務線才能實現(xiàn)，靠現(xiàn)有業(yè)務基本不可能?！?/p>

　　二級市場上，中微公司今年以來累漲超44%，停牌前股價272.72元/股，市值1708億元。公司持股14.93%的第一大股東上海創(chuàng)業(yè)投資計劃逢高變現(xiàn)，于12月1日披露擬減持不超626.145萬股股份（占比1%）。