中新社北京1月17日電 (記者 龐無忌)記者17日從中核集團(tuán)獲悉，由中核集團(tuán)中國原子能科學(xué)研究院自主研制的中國首臺(tái)串列型高能氫離子注入機(jī)(POWER-750H)成功出束，核心指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。

　　分析稱，這標(biāo)志著中國已全面掌握串列型高能氫離子注入機(jī)的全鏈路研發(fā)技術(shù)，攻克功率半導(dǎo)體制造鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為推動(dòng)高端制造裝備自主可控、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

　　離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備并稱為芯片制造“四大核心裝備”，是半導(dǎo)體制造不可或缺的“剛需”設(shè)備。此次高能氫離子注入機(jī)的成功研制，是核技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的重要成果，將有力提升中國在功率半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域的自主保障能力。

　　長(zhǎng)期以來，中國高能氫離子注入機(jī)完全依賴國外進(jìn)口，其研發(fā)難度大、技術(shù)壁壘高，是制約中國戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)升級(jí)的瓶頸之一。中國原子能科學(xué)研究院依托在核物理加速器領(lǐng)域數(shù)十年的深厚積累，以串列加速器技術(shù)作為核心手段破解一系列難題，掌握了串列型高能氫離子注入機(jī)從底層原理到整機(jī)集成的正向設(shè)計(jì)能力，打破了國外企業(yè)在該領(lǐng)域的技術(shù)封鎖和長(zhǎng)期壟斷。(完)